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净化工程中的纯气的影响及难点分析

发布时间:2023-01-27来源:达菲尔净化

净化工程中的纯气的影响说明
在IC的加工与制造封装中,净化工程高纯的气体可作为保护气、置换气、运载气、反应气等,为保证芯片加工与封装的成品率和可靠性,其中一个重要的环节,就是严格控制加工过程中所用气体的纯度。所谓"高纯"或"超纯"也不是无休止的要求纯而又纯,而是指把危害IC性能、成品率和可靠性的有害杂质及尘粒必须减少到一定值以下。
例如在IC封装过程中,把待减薄的晶圆,划后待粘片的晶圆,粘片固化后待压焊的引线框架(LF)与芯粒放在高纯的氮气储藏柜中可有效地防止污染和氧化;把高纯的C02气体混合人高纯水中,可产生一定量的H+,这样的混合水具有一定的消除静电吸附作用,代划片工序使用可有效地去除划痕内和芯粒表面的硅粉杂质,以此来减少封装过程中的芯粒浪费。
净化工程中的难点分析
净化工程有它的特殊性,对于这样的厂房它的特点非常明显,个造价特点贵,随着半导体工程的发展,这样对于工厂的品质要求越来越高,TFT工厂也是一样,TFT工厂本身的玻璃基板的尺寸越来越大,从原来的一代线到现在的主流八代线,随着基本尺寸大造价越来越高。第二个特点是净化工程工期短,由于半导体工厂,TFT工厂的特点投资特点大,所有的建设方尽快短期进行生产,取得投资回报,作为施工单位来讲摆在面前的一个特点就是工期要求非常紧。第三个特点是品质要求非常高,由于电子工厂它对厂房的依赖程度非常高,建厂当中的事故直接导致产品良品率的高低,

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