高效送风口，FFU，层流罩都是用在无尘室里面的设备，作用都是过滤空气中的尘埃粒子，以达到生产制成对洁净度的要求。
根据送风的方式，使用位置的不同，造成产品本身的结构也不一样。高效送风口，分为送风箱及高效滤网，本身不具备动力，不能自己送风到无尘室。高效送风口，上面或侧面，会有“入风口”，“入风口”经风管与MAU空调箱连接，风从空调送出，经风管送进送风箱，经高效滤网过滤，再送进无尘室。使用位置位于无尘室顶部，用于乱流型无尘室，成本相对较高。FFU的中文是“风机过滤单元”，分成两部分，风机及高效滤网。相对高效送风口来说，FFU自带电机，通过电机带动叶轮达到送风的目的，使用位置位于无尘室顶部，用于层流型无尘室，成本相对较高。
层流罩，工作原理和FFU一样，也通过电机带动叶轮达到送风的目的。但是一般在现有无尘室无法满足生产制成洁净度要求或送风型式要求时（乱流改层流），(全部改造成本较高，只有满足局部需求即可)，才采用的层流罩，已达到制成要求